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產(chǎn)品名稱: nXDS15iC 愛德華干式渦旋泵
產(chǎn)品型號(hào): A73702983
產(chǎn)品展商: Edwards
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
nXDS-C 泵是改進(jìn)型的 nXDS，適用于蒸汽處理制程，可用于某些涉及腐蝕性物質(zhì)的泵送應(yīng)用。nXDS-C 型具有 Chemraz? 內(nèi)部閥和不銹鋼接頭，可提供額外的泵送介質(zhì)防護(hù)。
nXDS15iC 愛德華干式渦旋泵
的詳細(xì)介紹
概述
nXDS-C 泵是改進(jìn)型的 nXDS，適用于蒸汽處理制程，可用于某些涉及腐蝕性物質(zhì)的泵送應(yīng)用。nXDS-C 型具有 Chemraz® 內(nèi)部閥和不銹鋼接頭，可提供額外的泵送介質(zhì)防護(hù)。
應(yīng)用
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一般清潔泵送應(yīng)用
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電子掃描顯微鏡 - SEM
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射束線和高能物理
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前級(jí)渦輪泵
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速離心機(jī)
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覆層
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低溫學(xué)
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脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
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蒸餾/萃取/過濾
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冷凍干燥
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熔爐
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凝膠體干燥
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實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
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激光、氣體回收和再循環(huán)
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氦檢漏儀
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負(fù)載鎖和傳輸腔
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稀有氣體再循環(huán)
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稀有氣體回收
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冷凍制造
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旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
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SEM/FIB（離子束維修）
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溶劑回收
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表面科學(xué)儀器
特性與優(yōu)勢(shì)
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真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
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無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
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無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費(fèi)用
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簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著例行維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
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用于實(shí)現(xiàn)蒸汽泵送的氣鎮(zhèn)功能
