真空在抽空工藝中的應(yīng)用
就抽提工藝而言，真空的應(yīng)用體現(xiàn)在哪些方面？
容器抽空，即抽除密封容器中的空氣或氣體，是真空為的應(yīng)用之一。這類應(yīng)用種類繁多。
所謂抽空，在多數(shù)環(huán)境空氣工業(yè)應(yīng)用中，一般理解為排空物理空間內(nèi)的氣體。當(dāng)環(huán)境空氣或氧氣的存在對制造或測試工藝產(chǎn)生干擾時(shí)，常需要進(jìn)行抽空。
根據(jù)應(yīng)用的不同，對真空度的要求也不盡相同，從中央真空系統(tǒng)要求的低真空到半導(dǎo)體生產(chǎn)硅片涂層的高真空。
意大利DVP真空泵的哪些真空解決方案尤其適合抽空工藝？
容器抽空工藝應(yīng)用范圍，相應(yīng)地，此類真空泵產(chǎn)品也各式各樣。挑選真空獲得設(shè)備時(shí)，需要考慮的關(guān)鍵因素包括排氣體積以及要求達(dá)到的容器終壓力?；旧衔覀兊恼婵毡枚寄苓_(dá)到此類要求。
L-C 旋片真空泵可用于許多不同的抽空工藝，因?yàn)槠溥\(yùn)行且堅(jiān)固耐用，表現(xiàn)。
P-A 爪式真空泵無油無接觸運(yùn)行，基本無需維護(hù)。這類節(jié)能型真空泵用于低真空抽氣工藝。
Edwards GXS螺桿真空泵適合抽除腐蝕性或爆炸性氣體。GXS真空泵采用無油螺桿，可以達(dá)到高真空度。
如果是高真空抽空工藝，赫哲真空建議采用由 L-C旋片泵 或 P-A無油爪式真空泵及EdwardsEH系列羅茨真空泵所組合而成的真空泵系統(tǒng)。適合高真空抽空的其它真空泵組合還包括渦輪分子真空泵和擴(kuò)散真空泵。
意大利DVP真空在抽氣工藝中的常見應(yīng)用范例：
?真空包裝——包裝腔體抽空（見"真空在包裝工藝中的應(yīng)用"）
?容器真空系統(tǒng)——真空容器長期保持真空度
?熱處理——真空爐抽空
?表面涂層——鍍膜室抽空
?模具排氣——鑄造質(zhì)量優(yōu)化
?空間模擬——空間模擬室抽氣
?傳送室——晶片生產(chǎn)
?工藝室——主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)
